Zawiesiny polerskie – monitoruj swoją zawiesinę 

Bardzo ważne jest monitorowanie i kontrolowanie stanu zawiesiny CMP używanej w procesie polerowania. Analizator wielkości cząstek i stężenia został z powodzeniem wykorzystany do optymalizacji operacji filtracji w kilku punktach systemu dystrybucji. System można umieścić blisko procesu zarówno za filtrem linii zasilającej, jak i filtrami w punkcie poboru.

Dlaczego w CMP potrzebna jest kontrola procesu zawiesiny?

Przemysł półprzewodnikowy polega na skali i utrzymywaniu ścisłej kontroli jakości w całym procesie. W procesach wielomaskowych zawiesiny CMP metalografie pik  określają teksturę powierzchni, na której osadzane są kolejne warstwy. Elementy elektroniczne o mniejszych wymiarach wymagają bardziej wyrafinowanych procesów CMP. Celem klienta jest posiadanie płaskich, gładkich, wypolerowanych wafli.

Przy minimalnych rozmiarach cech spadających poniżej 10 nm, specyfikacje defektów na poziomie płytek stały się bardziej rygorystyczne. W rezultacie procesy CMP stały się bardziej złożone, a standardy jakości gnojowicy zaostrzone. Podczas gdy zawiesina może być ściśle kontrolowana w miejscu produkcji (POM), kolejne operacje, takie jak transport, manipulowanie, mieszanie, filtracja i dozowanie na podkładce, mogą zmienić jej właściwości chemiczne (np. Wpływając na utleniacze lub dodatki). Zmiana takich parametrów może wpłynąć na wydajność procesu i przyczynić się do defektów na poziomie płytki, wpływając w ten sposób na produktywność modułu. Aby zapobiec takim niepożądanym skutkom, właściwości chemiczne gnojowicy muszą być stale monitorowane w miejscu jej użycia.

Znaczenie lepkości i gęstości zawiesiny 

Informacje o lepkości i gęstości zawiesiny dostarczają kluczowych informacji do oceny dyspersji cząstek w zawiesinach CMP ze względu na związek istniejący między lepkością a wielkością cząstek. Dostarcza kluczowych informacji, aby pomóc formulatorom dostosować się do ich indywidualnych wymagań.

Konsystencja gnojowicy zależy zarówno od składników chemicznych, jak i mechanicznych. Zawiesina ta powinna mieć wąski, jednolity rozkład wielkości cząstek i stałą gęstość. Zmieniająca się gęstość wskazuje na niejednorodną zawiesinę, która zmienia usuwanie polerowania. Aglomeraty i duże cząstki można usunąć za pomocą filtrów w blenderze, ale fluktuacje gęstości są bardziej podstępne. Możliwe, że cząstki zawiesiny spełniają wymagania specyfikacji i przechodzą przez filtry. Zawiesina jest zazwyczaj transportowana w stanie skoncentrowanym, a następnie rozcieńczana wodą lub nadtlenkiem wodoru w fabryce.